Ewakuacja Auschwitz została przygotowana przez Niemców pod koniec 1944 r. Miała się rozpocząć w momencie bezpośredniego zagrożenia wkroczeniem armii sowieckiej. Kolumny więźniów miały się składać wyłącznie ze zdrowych ludzi, którzy podołają trudom długiego marszu. Wśród ewakuowanych znalazło się jednak sporo chorych. Obawiali się, że pozostanie w obozie będzie oznaczało śmierć. Ewakuowano także dzieci.
Pierwsze kolumny wymaszerowały 17 stycznia z podobozów Neu Dachs w Jaworznie oraz Sosnowitz. Ostatnia wyszła 21 stycznia z podobozu Blechhammer w Blachowni Śląskiej. Trasy marszów wiodły do Wodzisławia i Gliwic. Najdłuższą, która liczyła 250 km, pokonało 3,2 tys. więźniów z podobozu w Jaworznie. Szli do KL Gross Rosen na Dolnym Śląsku. Kolumny konwojowali uzbrojeni esesmani.
Była więźniarka Halina Birenbaum wspominała, że ten, kto stracił siły, padał. "Kto zwalniał kroku, tego rozstrzeliwano. Nie wolno nam było oglądać się za siebie. Na oblodzonej drodze zostawały trupy – kobiet i mężczyzn z postrzelonymi czaszkami" – relacjonowała. Janina Komenda mówiła, że szła w Marszu "jak automat". "Iść, iść, nie upaść" – powtarzała sobie w myślach. "Śnieg był czerwony, a my – półżywe" – dodała Ester Friedman.
Podczas marszów zginęło co najmniej 9 tys. więźniów. Umierali z zimna, zmęczenia lub zostali zastrzeleni przez Niemców. Wśród zabitych był Stanisław Bytnar, więziony w Auschwitz II-Birkenau ojciec Jana Bytnara „Rudego”, żołnierza Szarych Szeregów, jednego z bohaterów książki Aleksandra Kamińskiego „Kamienie na szaniec”. Został aresztowany przez Niemców wraz z synem w marcu 1943 r. Z więzienia na Pawiaku w maju tegoż roku trafił do obozu, gdzie pracował w komandzie zajmującym się budową dróg obozowych.
„Został zastrzelony przez konwojentów SS na trasie Oświęcim-Wodzisław Śląski, kiedy najprawdopodobniej osłabł i nie miał już sił iść dalej” – powiedział historyk z Muzeum Auschwitz Adam Cyra.
Na trasie dochodziło do masakr. W nocy z 21 na 22 stycznia na stacji kolejowej w Leszczynach koło Rybnika został zatrzymany pociąg z Gliwic z 2,5 tys. więźniów. Po południu rozkazano im opuścić wagony. Z powodu wycieńczenia część z nich nie była w stanie wykonać rozkazu. Niemcy zaczęli strzelać w otwarte drzwi wagonów. Zginęło ponad 300 osób. Ocalałych pognano na zachód.
Ofiary marszów zostały pochowane po drodze. Wśród nich były także dzieci. W 1965 r. w trakcie komasacji trzech położonych obok siebie mogił w Pszczynie wydobyto szczątki dziewczynki. W pobliżu jej twarzy znajdował się blaszany kubek, który zaciskała w dłoniach. W tej samej pozycji złożono ją do nowego grobu.
Ludność z miejscowości położonych na trasie Marszów – Polacy i Czesi - pomagała więźniom, którzy zdołali zbiec z marszu. Ukrywali ich i karmili.
Więźniowie, którzy przetrwali marsz do Wodzisławia lub Gliwic, wywożeni byli - pomimo przenikliwego chłodu - otwartymi wagonami kolejowymi do obozów Mauthausen i Buchenwald. Wielu spośród tych, którzy przeżyli Marsze Śmierci, zginęło w obozach w głębi Rzeszy.
W kompleksie KL Auschwitz Niemcy pozostawili ok. 7 tys. skrajnie wyczerpanych więźniów. 27 stycznia 1945 r. oswobodzili ich żołnierze Armii Czerwonej.